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檢測(cè)方案

對(duì)晶圓進(jìn)行對(duì)射掃描，讀取上下鏡頭以及厚度度數(shù)，測(cè)量硅片翹曲。

1、采用D40A36R2S10鏡頭對(duì)樣品間隔100um進(jìn)行5次掃描，操作簡(jiǎn)單快速。

2、掃描過(guò)程中，采集樣品的上下鏡頭高度數(shù)值測(cè)量值，并計(jì)算厚度數(shù)值（鏡頭沿Y軸方向掃描，然后平移100um，再進(jìn)行相同長(zhǎng)度的掃描，步距2um）。

3、可以通過(guò)三組數(shù)值來(lái)確定晶圓翹曲。

4、針對(duì)半透明晶圓，可以采用雙波段控制器進(jìn)行對(duì)射掃描。

測(cè)試結(jié)果

采用主動(dòng)校準(zhǔn)模式-藍(lán)色曲線為上鏡頭高度數(shù)據(jù)曲線，紫色曲線為下鏡頭高度數(shù)據(jù)曲線，通過(guò)上下鏡頭的高度數(shù)值，可以計(jì)算出厚度曲線

配置清單

檢測(cè)方案

對(duì)芯片金線進(jìn)行掃描，讀取橫縱坐標(biāo)及高度數(shù)據(jù)，繪制3D點(diǎn)云圖。

1、采用D40A48R1S8鏡頭對(duì)樣品間隔10um進(jìn)行多次掃描，將采集點(diǎn)制成點(diǎn)云圖。

2、鏡頭沿Y軸方向掃描，然后平移10um，再進(jìn)行相同長(zhǎng)度的掃描，步距1um。

測(cè)試結(jié)果

配置清單